PGI Optics 泰勒轮廓仪-d88尊龙准认来就送38科技(北京)有限公司

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PGI Optics测量仪器是一种触针式光学轮廓仪,它可以测量塑料透镜、球面、非球面、自由曲面、红外玻璃和晶体,以及直径达

300mm的衍射表面的粗糙度和形状。PGI利用短测针来测量大尺寸的透镜,实现高精度的测量。


技术参数

X轴(水平)性能

驱动长度-X最大/最小

200mm/0.1mm

测量速度

0.1mm/s至13mm/s

驱动速度

最高可达13mm/s

X轴数据采样间隔

长度为200mm时0.125μm

Z轴(垂直)性能

可使用高度

190mm

定位速度

0.25mm/s至10mm/s

传感器

标称传感器量程(Z)(驱动箱在0°状态)

长测杆长度60mm

14mm

长测杆长度120mm

28mm

分辨率

0.8nm @ 14mm量程

测针杆部长度、针尖尺寸、测力

60mm测杆、2μm半径锥球形钻石针尖、1mN接触力

系统性能

形状误差-Pt(球校准半径误差)

最大100nm @ 22mm 通常小于60nm @ 22mm

半径测量不确定性

0.1mm-80mm=1%-0.005%标称值

80mm-1000mm=0.005%-0.1%标称值

1000mm-2000mm=0.1%标称值

测量能力

最大工件直径

300mm

最大工件髙度

190mm

最大工件重量

10Kg

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下一个: 没有了

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