PGI Optics测量仪器是一种触针式光学轮廓仪,它可以测量塑料透镜、球面、非球面、自由曲面、红外玻璃和晶体,以及直径达
300mm的衍射表面的粗糙度和形状。PGI利用短测针来测量大尺寸的透镜,实现高精度的测量。
技术参数
X轴(水平)性能 |
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驱动长度-X最大/最小 |
200mm/0.1mm |
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测量速度 |
0.1mm/s至13mm/s |
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驱动速度 |
最高可达13mm/s |
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X轴数据采样间隔 |
长度为200mm时0.125μm |
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Z轴(垂直)性能 |
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可使用高度 |
190mm |
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定位速度 |
0.25mm/s至10mm/s |
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传感器 |
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标称传感器量程(Z)(驱动箱在0°状态) |
长测杆长度60mm |
14mm |
长测杆长度120mm |
28mm |
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分辨率 |
0.8nm @ 14mm量程 |
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测针杆部长度、针尖尺寸、测力 |
60mm测杆、2μm半径锥球形钻石针尖、1mN接触力 |
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系统性能 |
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形状误差-Pt(球校准半径误差) |
最大100nm @ 22mm 通常小于60nm @ 22mm |
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半径测量不确定性 |
0.1mm-80mm=1%-0.005%标称值 80mm-1000mm=0.005%-0.1%标称值 1000mm-2000mm=0.1%标称值 |
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测量能力 |
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最大工件直径 |
300mm |
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最大工件髙度 |
190mm |
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最大工件重量 |
10Kg |